产品详情
十字透射测微尺分划板是一种用于显微观察、尺寸测量、定位及光学系统标定的精密光学元件，通常以高质量透明光学玻璃或石英玻璃为基底，在基底表面通过精密光刻、镀膜或其他微细加工工艺形成十字基准线及测微刻度。十字透射测微尺分化板通常安装于显微镜目镜内部的实像平面处，该位置与显微物镜形成的中间像面相对应，使用时，分划板上的十字基准线和测微刻度能够与被观察目标的放大图像叠加显示，从而为目标的尺寸测量、位置判断、中心定位以及几何参数比较提供直观、稳定的测量基准。
十字透射测微尺分划板既可以作为显微镜、望远镜等光学系统的目镜测微尺使用,也可以作为光学仪器中的对准、瞄准与基准标记元件,是光学计量与机器视觉领域中应用广泛的测量基准工具。
1、产品特点
（1）十字定位与测微功能相结合
采用十字基准结构，X、Y 两个方向的刻度同时呈现,一次观察即可完成二维尺寸测量与对中定位；同时集成精密测微刻度，可实现目标尺寸、间距及相对位置的直接比较和测量。
（2）透射式光学结构
采用透明光学基底，通过透射方式使光线和图像信息通过分划板。分划板安装于显微系统的实像面位置时，刻度图案可以与目标图像叠加观察，便于进行视觉测量和定位。
（3）高精度刻度加工
测量刻度采用光刻工艺，具有较好的刻度一致性和尺寸稳定性。通用型产品的整体精度为±3μm，最高可定制精度可达0.5μm。
（4）透光率高
基板区域经镀增透膜处理后,透过率可达90%以上,对成像亮度影响很小。
（5）稳定性好
光学玻璃热膨胀系数低,耐腐蚀、耐磨损,长期使用刻度不易变形、漂移。
（6）支持多元化定制
根据不同光学仪器及测量需求，可对基底材料、外径、厚度、刻度范围、分度值、线宽、十字线位置及图案形式进行定制。
2、产品结构
典型十字透射测微尺分划板主要由以下部分构成：
组成部分 | 说明 |
光学基底 | 常用 K9、BK7 光学玻璃,或石英玻璃(用于紫外、高温场合),两面经精密抛光,平行度和表面光洁度高 |
十字基准线 | 十字线通常由相互垂直的两条基准线组成，可分别作为水平和垂直方向的定位参考，用于目标中心、边缘或特征点的快速对准 |
测微刻度 | 在十字基准线的一个或多个方向上设置精密刻度，用于进行长度、间距、位置偏差等参数的比较和测量。实际每小格所代表的物方尺寸与显微镜的物镜倍率、光学系统倍率以及标定结果有关 |
图案/刻度层 | 刻度和十字线可以采用光刻、镀铬、激光刻蚀等工艺制作。不同工艺可以形成不同的透光/遮光关系，以满足明场、透射或其他成像条件下的观察需求 |
增透膜(可选) | 镀于非刻线区域,提高透过率、减少杂散光 |
安装基准及外形结构 | 分划板通常设计为圆形薄片，并通过外径尺寸与安装结构与目镜或专用安装座匹配 |
3、主要技术指标
根据不同型号和定制要求，主要产品技术参数可参考下表：
参数 | 典型内容 | 参数 | 典型内容 |
名称 | 十字透射测微尺分划板 | 基材 | 光学玻璃/石英玻璃等 |
图案 | 十字线+测微刻度 | 外径 | 19mm、21mm等 |
中心偏 | 0.1mm | 厚度 | 1.5mm |
整体精度 | 常规±3μm，最高可定制±0.5μm | 线宽公差 | 2μm |
透射波前误差 | <λ@633nm | 表面质量 | 60-40划痕-麻点等级 |
铬膜光学密度 | ≥3.0@430nm | 通光孔径占比 | >90% |
5、主要应用领域
（1）显微镜测量
细胞、微生物、花粉、纤维、晶粒等微小对象的尺寸测量，广泛用于生物、医学、材料及地质领域。
（2）工业检测
精密零件、电子元器件、PCB、半导体晶圆及金属组织的尺寸检测和缺陷评估。
（3）光学仪器
望远镜、经纬仪、水准仪、测量显微镜、投影仪、工具显微镜的瞄准与读数。
（4）机器视觉
作为相机、镜头调校与标定的基准靶标,用于对焦、光轴对中和视场标定。
（5）光学装调与激光系统
光路准直、激光对中、光轴校正与光束位置监测。
（6）教学与科研
光学实验、显微观察实验及计量学教学演示。
（7）军工与航空航天
瞄具、光电跟踪设备及观测仪器中的瞄准分划。
