水平透射测微尺分划板是一种用于显微成像、光学测量和尺寸标定的精密光学分划元件,通常以透明光学玻璃为基底,在玻璃表面制作高精度的水平线性测微刻度,通过透射光照明形成清晰的刻度图案,主要用于用于显微镜测量系统的标定与微小物体的尺寸测量,是连接"光学图像"与"真实物理尺寸"的基准工具。
水平透射测微尺分划板通常安装在显微镜目镜内部的实像面/中间像面位置。当显微物镜将被测物体成像到该位置时,分划板上的刻度可以与被测目标图像叠加,并保持清晰,从而利用刻度与目标尺寸之间的对应关系进行测量。测微尺本身通常并不是直接以“一个刻度=多少实际长度”的方式使用。实际测量前,需要利用镜台测微尺等已知长度标准对目镜测微尺进行标定,确定当前物镜倍率下每一小格所对应的实际尺寸。因此,它兼具测量标尺和比较测量基准的作用。
1、产品特点
(1)高精度
刻线间距精度可达亚微米至微米级,刻线位置误差小,可溯源至国家长度计量标准。
(2)刻线清晰
线条边缘锐利、线宽均匀,对比度高,便于读数和图像识别。
(3)透射式成像
光线直接穿透基板,背景明亮,适合配合透射式显微镜、投影仪、测量显微镜使用。
(4)稳定性好
玻璃或石英基板热膨胀系数低,化学性质稳定,耐磨、耐腐蚀,长期使用尺寸不易漂移。
(5)通用性强
兼容多数光学显微镜、金相显微镜、工具显微镜及机器视觉系统。
(6)易于维护
表面经镀膜保护或加盖玻片封装,可擦拭清洁,使用寿命长。
(7)规格多样,支持多元化定制
根据显微镜、目镜等不同测量对象,支持多元化定制,包括刻度总长度、分度值、刻度线宽、长短刻度比例、数字标识、刻度方向、基底直径、基底厚度、工作波段、图案位置及中心偏差等。因此既可以提供标准件,也可以根据光学系统进行多元化定制。
2、产品结构
典型的水平透射测微尺分划板的基本结构可以概括为:透明光学基底+精密测微刻度+图案膜层/加工层,具体结构如下:
组成部分 | 说明 |
光学基板 | 优质光学玻璃(如 K9、B270)或熔融石英,表面平整、透光率高、无气泡杂质 |
刻线层 | 通常为铬(Cr)薄膜,通过光刻-蚀刻工艺形成,也有蚀刻玻璃或感光乳剂工艺 |
刻度图案 | 水平等间距线性刻度,含长短刻线、数字标注,部分带十字线或网格 |
保护层/盖片(可选) | 部分产品加盖玻片并胶合封装,防止刻线划伤与氧化 |
外框/安装座(可选) | 金属环或载玻片形式(如Φ20~Φ26mm 目镜分划板,或75×25mm 载物测微尺),便于装入目镜或放置于载物台 |
常见的两种测微尺形式:
①物台测微尺:类似载玻片,放在载物台上,用于标定。
②目镜测微尺(分划板):装入目镜焦平面内,用于直接读数测量。
3、主要技术参数
不同应用对分划板精度、尺寸和材料要求不同,可根据项目需求定制。典型参数可以参考下表。
参数 | 典型内容 | 参数 | 典型内容 |
名称 | 水平透射测微尺分划板 | 基材 | 光学玻璃、K9类玻璃、熔融石英等 |
图案 | 水平线性测微刻度 | 外径 | 19 mm、21 mm等 |
分度值 | 依据刻度长度和分格数确定 | 厚度 | 1.1~1.5 mm |
刻度长度 | 1 mm、5 mm、10 mm等 | 图案精度 | 最高±0.5μm,可根据需求定制 |
透射波前误差 | <λ@633nm | 表面质量 | 60-40划痕-麻点等级 |
铬膜光学密度 | ≥3.0@430nm | 通光孔径占比 | >90% |
4、主要应用领域
(1)生命科学与医学
细胞、细菌、血细胞、组织切片、寄生虫的尺寸测量
(2)材料与金相分析
晶粒度、镀层厚度、夹杂物、裂纹和缺陷尺寸测定
(3)半导体与电子
线宽、芯片图形、PCB 线路、微小元件的检测
(4)精密制造与机械
微小零件、刀具磨损、表面形貌的尺寸检验
(5)光学仪器标定
显微镜、测量投影仪、影像测量仪、机器视觉相机的像素当量标定
(6)地质与矿物学
岩矿薄片中颗粒大小测量、粒度分析
(7)纺织与纤维
纤维直径、纱线粗细测量
(8)教学与科研
显微镜实验教学、计量检定与校准实验室
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